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中央真空系统的概述
编辑:杭州非耀真空设备有限公司   时间:2018-08-28

    中央真空系统可适用于集中供应多个真空终端,中央真空系统拥有抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该中央真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。其广泛应用于电子工业、半导体运用、空间模拟、科研领域、实验室、机械加工等行业。

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